国产精品久久久久久久久久综合,在线播放周妍希国产精品,中文字幕精品三区无码,亚洲熟妇av一区,欧美国产日韩一区二区在线观看,亚洲ⅴ欧美v国产ⅴ久久久,国产成人精品人人

特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部分是腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體。

針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于特氣柜(Gas Cabinet)內(nèi)，再通過管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場附近的閥門箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再進(jìn)入制程機(jī)臺的使用點(diǎn)(POU, Point of Use)，于進(jìn)入機(jī)臺腔體之前，會有獨(dú)立的氣體控制盤(GB, Gas Box)與制程控制模塊聯(lián)機(jī)，以質(zhì)流流量計(jì)控制器(MFC, Mass Flow Controller)進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制，通常此氣體控制盤不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)范疇，而是歸屬制程機(jī)臺設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤(VMP, Valve Manifold Panel)進(jìn)行供應(yīng)。

本篇內(nèi)容來源于網(wǎng)絡(luò)，如有侵權(quán)，請聯(lián)系刪除