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德爾產(chǎn)品

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六氟乙烷(電子級)

發(fā)布時間:2019-08-24 | 游覽:9412

產(chǎn)品名稱氣體純度氣瓶規(guī)格閥門充裝量(Kg)保質(zhì)期
C2F699.999%DOT47LDISS716402年
DOT440LDISS7164602年
TT(20'GP)DISS716100002年
備注:可按客戶要求定制包裝規(guī)格


六氟乙烷稱全氟乙烷,是乙烷中六個氫原子全部被氟原子取代后的產(chǎn)物,是鹵代烴(化學(xué)式:C2F6),亦是烴類化合物乙烷所對應(yīng)的全氟化合物,是一種不易燃的氣體,難溶于水,微溶于醇。

六氟乙烷可用于一種具多功能的蝕刻技術(shù),常見于半導(dǎo)體之生產(chǎn)。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質(zhì)的選擇性蝕刻。叧外,它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)。

包裝容器:規(guī)格齊全,按客戶要求配置。


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